固高科技:公司于23年上半年有获批一项关于半导体设备运动轨迹规划的专利《光刻机运动轨迹规划方法、装置、计算机设备和存储介质》
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同花顺(300033)金融研究中心9月8日讯,有投资者向固高科技(301510)提问, 您好!公司已经取得一种光刻机运动轨迹规划方法的专利,请问贵公司在光刻机领域是否取得了一定的研究成果,还望不吝分享出来,谢谢!
公司回答表示,半导体相关设备一直是公司技术、产品的一个重点应用领域。公司在半导体后封装相关设备领域已经有较好的应用。在半导体前道设备所需的控制、伺服驱动与系统相关的技术、产品,公司一直在持续进行研究、迭代与应用推广;公司于23年上半年有获批一项关于半导体设备运动轨迹规划的专利《光刻机运动轨迹规划方法、装置、计算机设备和存储介质》。公司认为,未来五到十年内是整个半导体设备,特别是半导体设备内的部件与系统战略机遇期,公司期待在此大背景下更好的发展,能支持产业的健康发展,回报社会与股东。
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